陳曉旭有過兩段婚姻,她的第一任丈夫是演員畢彥君,第二任丈夫是郝彤。
陳曉旭和畢彥君自少年時就相識。1987年,陳曉旭在拍攝完《紅樓夢》不久后,便與畢彥君結婚了,之后由于兩人性格不合而離婚。1991年,陳曉旭與郝彤因拍攝電視劇《黑葡萄》而相識、相戀,最終倆人成為了夫妻。
1999年,陳曉旭偶然間在朋友的車上聽到凈空法師講解的《無量壽經(jīng)》錄音帶,從此與凈空法師結緣。
2007年2月23日,陳曉旭在位于長春寬城區(qū)奮進鄉(xiāng)新月村的百國興隆寺舉行了剃度儀式,落發(fā)出家,法號妙真 ;同年5月13日,陳曉旭因患乳腺癌在深圳去世,享年41歲。